第一部分 ESD職業(yè)技術(shù)知識(shí)
第1章 靜電基本概念
1.1 靜電的定義與不同類型的電
1.1.1 靜電具有的特點(diǎn)
1.1.2 幾種常見(jiàn)的靜電物理量綱及換算
1.2 靜電的產(chǎn)生
1.2.1 固體起電
1.2.1.1 固體接觸摩擦分離起電
1.2.1.2 物體膠粘剝離起電
1.2.2 靜電感應(yīng)起電
1.2.3 粉體起電
1.2.4 絕緣液體起電
1.2.4.1 絕緣液體的偶電層
1.2.4.2 流動(dòng)帶電
1.3 靜電場(chǎng)
1.3.1 電場(chǎng)強(qiáng)度
1.3.2 靜電電壓、靜電電位
1.4 靜電屏蔽、導(dǎo)靜電、靜電耗散、靜電絕緣材料的劃分
1.4.1 導(dǎo)靜電和靜電屏蔽材料
1.4.2 靜電耗散材料
1.4.3 靜電絕緣材料
1.5 摩擦分離起電的極性排列與低起靜電材料（抗靜電材料）
1.6 靜電屏蔽
第2章 電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題
2.1 靜電效應(yīng)與靜電對(duì)微電子制造業(yè)的危害
2.1.1 靜電效應(yīng)
2.1.1.1 靜電荷產(chǎn)生的電場(chǎng)力
2.1.1.2 靜電放電（ESD）
2.1.1.3 靜電電場(chǎng)感應(yīng)
2.1.2 靜電對(duì)微電子制造業(yè)的危害形式
2.1.2.1 吸附塵埃
2.1.2.2 靜電放電及產(chǎn)生的寬帶電磁脈沖效應(yīng)
2.1.2.3 靜電場(chǎng)感應(yīng)及放電
2.2 靜電放電敏感器件（SSD或ESDS器件）
2.2.1 器件ESD損傷失效模式
2.2.1.1 突發(fā)性完全失效
2.2.1.2 潛在性緩慢失效
2.2.1.3 常見(jiàn)的靜電放電損傷的失效模式
2.2.1.4 靜電放電損傷的失效現(xiàn)象
2.2.1.5 SSD靜電損傷機(jī)理
2.2.2 SSD的分級(jí) 2.3 電子工業(yè)靜電損害事例及統(tǒng)計(jì)
2.3.1 電子器件損失統(tǒng)計(jì)
2.3.2 典型事例
2.4 電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的靜電源與靜電防護(hù)場(chǎng)所
2.4.1 人體靜電與人體用品
2.4.1.1 人體靜電的起電方式
2.4.1.2 人體用品
2.4.2 樹脂、浸漆封裝表面
2.4.3 各種包裝容器、物流傳遞用品和傳輸帶（線）
2.4.4 各類工作表面、工具（包括氣動(dòng)工具、吸錫器等）
2.4.5 裝配、清洗、試驗(yàn)和修理過(guò)程
2.4.6 各種絕緣地面
2.4.7 生產(chǎn)、裝聯(lián)、焊接、檢驗(yàn)、高低溫處理等設(shè)備
2.4.8 接地系統(tǒng)和電源
2.4.9 生產(chǎn)、存儲(chǔ)環(huán)境中的絕緣物和對(duì)地絕緣的不等電位導(dǎo)體
2.4.10 環(huán)境電磁場(chǎng)
2.4.11 有靜電防護(hù)要求的場(chǎng)所
第3章 靜電防護(hù)原理
3.1 靜電耗散、泄漏、等電位接地
3.1.1 靜電耗散、泄漏、等電位接地一般要求
3.1.2 耗散與接地的特殊情況
3.1.3 防靜電材料（裝備）使用中的安全問(wèn)題
3.1.4 防靜電材料功能上的區(qū)分
3.2 靜電中和
3.3 靜電屏蔽與接地
3.4 環(huán)境增濕
3.5 電子產(chǎn)品ESD的防護(hù)設(shè)計(jì)
3.5.1 SSD ESD保護(hù)電路的設(shè)置
3.5.1.1 SSD和混合集成電路的保護(hù)電路設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)
3.5.1.2 SSD組件保護(hù)電路設(shè)計(jì)的注意事項(xiàng)
3.5.1.3 常用的幾種保護(hù)電路
3.5.1.4 HCMOS（高速CMOS）輸入端的保護(hù)結(jié)構(gòu)
3.5.2 電子設(shè)備的ESD防護(hù)
3.5.2.1 輸入/輸出電纜的處理
3.5.2.2 鍵盤和控制面板
3.5.2.3 電路設(shè)計(jì)和印制電路板（PCB）布線設(shè)
3.5.2.4 儀器電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
防靜電工作區(qū)構(gòu)成、標(biāo)準(zhǔn)體系管理與系統(tǒng)檢測(cè)
第4章 防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求
4.1 EPA的構(gòu)成
4.1.1 EPA定義和總體技術(shù)要求
4.1.2 EPA硬件組成和要求
4.1.3 軟件與管理方面要求
4.1.4 在EPA內(nèi)防靜電用品、裝聯(lián)生產(chǎn)設(shè)備、特殊裝備（車輛、航空器）的要求
4.1.4.1 人體靜電防護(hù)用品
4.1.4.2 防靜電包裝類（周轉(zhuǎn)容器）
4.1.4.3 傳輸帶（線）
4.1.4.4 運(yùn)轉(zhuǎn)車、存放柜（架）、工作椅、工作臺(tái)（桌）
4.1.4.5 工位器具（架）、操作工具（刷子、鑷子等）
4.1.4.6 墻壁和天花板
4.1.4.7 窗簾、抹布、粘塵墊
4.1.4.8動(dòng)力工具、吸錫器、焊接設(shè)備（烙鐵）
4.1.4.9 各類生產(chǎn)裝聯(lián)設(shè)備和對(duì)地絕緣的金屬體
4.1.4.10 防靜電地坪
4.1.4.11 離子（化）靜電消除器及使用
4.1.4.12 防靜電劑及使用
4.1.4.13 各類裝備（通信車輛、航空器等）防靜電的要求
4.1.5 EPA環(huán)境要求
4.2 EPA內(nèi)的接地與防雷
4.2.1 安全保護(hù)接地
4.2.2 工作接地
4.2.3 重復(fù)接地
4.2.4 中性點(diǎn)、零點(diǎn)和中性線、零線
4.2.5 屏蔽接地
4.2.6 直流接地
4.2.7 信號(hào)接地
4.2.8 防靜電接地
4.2.9 常用接地方式
4.2.10 EPA防雷接地與防雷設(shè)計(jì)
4.2.10.1 防雷接地
4.2.10.2 EPA內(nèi)防雷設(shè)計(jì)
4.2.11 EPA防靜電接地及與其它接地的關(guān)系
4.2.11.1 EPA防靜電接地要求
4.2.11.2 單獨(dú)防靜電接地極的埋設(shè)案例
4.2.12 EPA內(nèi)接地注意事項(xiàng)
4.3 EPA標(biāo)識(shí)
4.4 構(gòu)建EPA時(shí)常見(jiàn)的問(wèn)題
第5章 EPA的防靜電工藝與質(zhì)量管理
5.1 EPA的防靜電工藝及要求 5.1.2 固定崗位的工藝要求
5.1.3 流動(dòng)崗位的防靜電工藝要求
5.1.4工件流動(dòng)狀態(tài)的防靜電工藝要求
5.1.5售后服務(wù)中的防靜電工藝要求
5.1.6 生產(chǎn)主要環(huán)節(jié)的防靜電工藝要求
5.2 EPA的質(zhì)量管理與企業(yè)ESD防護(hù)培訓(xùn)
5.2.1 靜電分析
5.2.2 EPA的管理要求
第6章 EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗(yàn)
6.1 電阻的測(cè)試與電阻率的計(jì)算
6.1.1 電阻和電阻率的定義
6.1.2 電阻測(cè)試原理
6.1.2.1 恒壓比較法
6.1.2.2 伏安法
6.1.2.3 搖表法
6.1.2.4 接地電阻測(cè)試
6.1.3 常用幾種測(cè)試電極
6.1.3.1 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、系統(tǒng)電阻（靜電泄漏電阻）測(cè)試電極
6.1.3.2 表面電阻、體積電阻測(cè)試電極
6.1.4 電阻測(cè)試與表面、體積電阻率計(jì)算
6.1.4.1 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和靜電泄漏電阻的測(cè)試
6.1.4.2 表面、體積電阻測(cè)試和電阻率的計(jì)算
6.1.4.3 接地電阻的測(cè)量
6.1.5 測(cè)試電阻時(shí)的注意事項(xiàng)
6.1.5.1 影響電阻測(cè)試的因素和注意事項(xiàng)
6.2 靜電電壓衰減時(shí)間的測(cè)試
6.2.1 靜電電壓衰減時(shí)間（期）的定義
6.2.2 靜電電壓衰減時(shí)間測(cè)試原理
6.2.3 靜電電壓衰減時(shí)間（期）測(cè)試注意事項(xiàng)
6.3 靜電屏蔽性能的檢測(cè)
6.3.1 檢測(cè)儀器和測(cè)試原理
6.3.2 測(cè)試注意事項(xiàng)
6.4 摩擦起電電壓與EPA系統(tǒng)靜電電位（電壓）測(cè)試
6.4.1 EPA系統(tǒng)靜電電位（電壓）測(cè)試
6.4.1.1 導(dǎo)體靜電電壓測(cè)試
6.4.1.2 非接觸式測(cè)試絕緣、導(dǎo)體表面靜電電位（電壓）
6.4.1.3 靜電電壓表使用方法及注意事項(xiàng)
6.4.2 摩擦起電電壓測(cè)試
6.4.2.1 工作表面（桌墊、板材等）摩擦起電電壓測(cè)試
6.4.2.2 織物摩擦起電測(cè)試
6.4.2.3 其他一些測(cè)試方法
6.5 靜電電量測(cè)試與計(jì)算
6.5.1 測(cè)試要求
6.5.2 靜電電量計(jì)算
6.6 各類防靜電產(chǎn)品（材料）、工程的測(cè)試和時(shí)效檢驗(yàn)
6.6.1 腕帶
6.6.2 EPA內(nèi)人體接地電阻測(cè)試
6.6.3 防靜電鞋、導(dǎo)電鞋電阻的測(cè)試
6.6.4 手套（指套）、帽、襪、鞋束、工具（刷）、氣動(dòng)工具的電阻測(cè)試
6.6.5 防靜電工作服的測(cè)試
6.6.6 集成電路防靜電包裝管的測(cè)試
6.6.7 柔韌性包裝類（包括發(fā)泡墊、海綿類）和周轉(zhuǎn)容器的測(cè)試
6.6.8 窗簾的測(cè)試
6.6.9 墻面靜電泄漏電阻的測(cè)試
6.6.10 防靜電液、蠟表面電阻的測(cè)試
6.6.11 坐椅、工作臺(tái)、運(yùn)轉(zhuǎn)車電阻的測(cè)試
6.6.12 地面、地墊的測(cè)試
6.6.13 離子靜電消除器消除靜電性能的測(cè)試方法
6.6.14 傳輸帶靜電泄漏電阻的測(cè)試
6.6.15 接地吸錫器、電烙鐵焊頭電阻的測(cè)試
6.6.16 檢測(cè)時(shí)常出現(xiàn)的不規(guī)范或錯(cuò)誤的測(cè)試方法
6.6.17 防靜電產(chǎn)品和工程的時(shí)效檢驗(yàn)
第7章 靜電放電模型與器件、設(shè)備的 ESD敏感度測(cè)試
7.1 靜電放電模型與ESD敏感度測(cè)試
7.1.1 人體模型（HBM）
7.1.1.1 試驗(yàn)設(shè)備
7.1.1.2 試驗(yàn)波形
7.1.1.3 測(cè)量?jī)x器
7.1.2 機(jī)器模型（MM）
7.1.2.1 圖7.4波形的說(shuō)明
7.1.2.2 圖7.5波形的說(shuō)明
7.1.3 帶電器件模型（CDM）
7.1.4 帶電電路板模型
7.1.5 人體－金屬ESD模擬器
7.1.6 家具ESD模型
7.1.7 幾種廣泛應(yīng)用的ESD模型的對(duì)比
7.1.8 設(shè)備的ESD試驗(yàn)
7.1.8.1 SSD設(shè)備的試驗(yàn)
7.1.8.2 SSD組件的靜電放電抗擾度試驗(yàn)
7.2 靜電放電模擬器簡(jiǎn)介
7.2.1 ESD模擬器的放電方式
7.2.1.1 空氣放電方式
7.2.1.2 接觸放電方式
7.2.1.3 帶電器件ESD模擬器
7.2.2 常用ESD模擬器介紹
7.2.2.1 NSG435 ESD模擬器（設(shè)備試驗(yàn)用）
7.2.2.2 ESS—606A模擬器（器件試驗(yàn)用）
7.2.2.3 Orion模擬器
7.2.3 放電試驗(yàn)注意事項(xiàng)
7.2.3.1 HBM試驗(yàn)
7.2.3.2 MM試驗(yàn)
7.2.3.3 CDM試驗(yàn)
第二部分 防靜電體系ESD內(nèi)審員
第8章
8.1 認(rèn)證基本要求和范圍
8.1.1認(rèn)證目的
8.1.2認(rèn)證范圍
8.1.3認(rèn)證要求
8.1.4認(rèn)證指導(dǎo)
8.1.5修改
8.2認(rèn)證項(xiàng)目和具體要求
8.2.1職工培訓(xùn)要求
8.2.2SSD敏感度分級(jí)和標(biāo)志要求
8.2.3EPA接地審查要求
8.2.4人員安全審查要求
8.2.5人員接地審查要求
8.2.6防靜電工作區(qū)（EPA）審查要求
8.2.7管理與質(zhì)量體系審查要求
8.3認(rèn)證評(píng)審程序與評(píng)審結(jié)論
8.3.1評(píng)審規(guī)定與結(jié)論
8.3.2防靜電系統(tǒng)審查及評(píng)審表填寫 |
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